概述帶組合式壓電/皮拉尼傳感器的VSR真空變送器：
測量范圍廣：得益于Piezo / Pirani組合傳感器
精確：粗真空和精真空范圍內的高精度和分辨率
可靠：出色的重現性和長期穩定性
快速：響應時間短，高達40毫秒
受到良好保護的：集成式金屬蓋可防止機油或溶劑蒸氣等污染
穩定：穩定的測量值歸功于優化的溫度補償
氣體類型無關：20 mbar以上的氣體類型無關測量和用于皮拉尼傳感器的可調氣體類型校正系數
概述Smartline真空變送器：
大量的接口選擇：數字RS485接口加上0-10 V輸出信號，EtherCAT或Profinet。此外，藍牙適配器SLKBT支持無線通信
可更換的傳感器頭：帶有存儲的校準數據的可輕松更換的更換傳感器頭
可選顯示器：大型LCD顯示器（EtherCAT，Profinet除外）
調節簡單：只需按一下按鈕或通過界面即可調節零壓力和大氣壓
LED：用于狀態顯示和切換點
可擴展的輸出特性：0-10 V輸出信號可以根據所需的特性進行縮放。
因此，與制造商無關，可以輕松地進行現有真空規的更換，而無需進行編程工作。
如果要保留電纜但要更換變送器，則可以使用適配器（例如FCC68）。
適用于超高壓：由于采用金屬密封的不銹鋼測量元件，適用于超高壓（氦氣泄漏率<5e-10 mbar l / s）
繼電器開關點：兩個獨立的無電勢繼電器開關點（EtherCAT，Profinet除外）
堅固：耐腐蝕，符合EMC標準的金屬外殼，防護等級高達IP54
控制器：可以通過2通道控制器VD12或4通道控制器VD14進行擴展
VacuGraphTM Windows軟件：用于可視化，分析和存儲測量數據
| 測量原理 | 壓阻式/導熱性Pirani |
| 氣體類型依賴性 | 取決于氣體類型，與氣體類型無關（壓電） |
| 測量范圍毫巴 | 1200-1e-4毫巴(1200-0.0001mbar) |
| 測量范圍托 | 900-1e-4托 |
| 過載 | 4個吸收 |
| 準確性 | 1200-40毫巴：0.3％fs | 40-2e-3毫巴：fr的10％ |
| 重復性 | 1200-40毫巴：0.1％fs | 40-1e-2毫巴：2％fr |
| 真空接觸材料 | 不銹鋼1.4307，鎢，鎳，玻璃，金，氧化硅 |
| 反應時間 | 40毫秒 |
| 工作溫度 | + 5 ... + 60°C |
| 儲存溫度 | -40 ... + 65°C |
| 烘烤溫度 | 法蘭上150°C（關閉電源） |
| 電源供應 | 20至30 VDC |
| 能量消耗 | 2.5 W，對于EtherCAT /繼電器/ LCD為0.8 W，另外為Profinet為1.6 W |
| 輸出信號SL | 0-10 VDC，最小10kΩ，測量范圍1.5-8.58 VDC，對數 除了EtherCAT，Profinet |
| 串列介面 | EtherCAT，Profinet，RS485：9.6 kBd至115 kBd，8個數據位，1個停止位，無奇偶校驗EtherCAT，Profinet |
| 切換輸出 | 2個繼電器，無電勢，50 VAC / 2 A或30 VDC / 2 A，60 VA，EtherCAT和Profinet除外 |
| 電氣連接 | RS485 / EtherCAT / Profinet：1x M12 A / 2x M12 D母頭，SubD 15針，公頭 |
| 真空連接 | DN 16 ISO-KF（VSR53），DN 16 CF-F（VSR54） |
| 方面 | 99 x 69 x 48毫米（VSR53） |
| 防護等級 | IP40，IP54，帶配套連接器XB15SL05 |
| 重量 | 195克（VSR53D） |
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